液晶製造装置の部品

半導体チップの配線パタンを縮小して､シリコンウエハに焼き付ける機械です｡その､シリコンウエハを超高速で移動させ､超高精度の位置決めの後に加工するために､減衰能(振動を押さえる能力)の高い鋳鉄が求められています。｡また､温度による膨張の比率が低いことも､鋳鉄が用いられる理由の一つです｡